串聯(lián)臂壓電微電機(jī)及驅(qū)動(dòng)電源的研究

　　串聯(lián)臂壓電微電機(jī)驅(qū)動(dòng)和控制原理卡電品片在外加電場(chǎng)的作用1將伸長(zhǎng)或縮7短將兩個(gè)極性相反的壓電晶片粘接在起，形成壓電雙晶片。在電場(chǎng)的作用下，兩個(gè)壓電晶片分別伸長(zhǎng)和縮短，壓電雙晶片發(fā)生彎曲13，在各自電場(chǎng)的作用下，片1伸長(zhǎng)，片2縮短，由于兩個(gè)壓電晶片的相互約束，該單元向右彎曲，本文稱該壓電雙晶片為彎曲臂。
　　將兩個(gè)彎曲臂串聯(lián)起來(lái)構(gòu)成串聯(lián)彎曲臂，在特定本文于2000年3月收到。
　　IflI串聯(lián)彎曲臂自由端橢圓運(yùn)動(dòng)形成機(jī)理而形成串聯(lián)臂壓電微電機(jī)3串聯(lián)臂壓電微電機(jī)驅(qū)動(dòng)電路如上所述，串聯(lián)臂壓電微電機(jī)可用相位差為兀2路可由信號(hào)發(fā)生器和放大兩部分組成，信號(hào)發(fā)生器通過(guò)對(duì)單路方波信號(hào)移相產(chǎn)生兩路相位差為；2的方波口相電路農(nóng)用模擬成數(shù)寧電路如果采用模擬，相屯路，即網(wǎng)絡(luò)，在調(diào)整信號(hào)頻率時(shí)。1利用單片機(jī)作為數(shù)字信號(hào)發(fā)生電路，以保證較高的移彎曲背2電壓信號(hào)動(dòng)。在特定的電信號(hào)驅(qū)動(dòng)下，使彎曲臂1和臂2處于不同的彎曲狀態(tài)，則彎曲臂自由端依次通過(guò)2，3，4點(diǎn)，形成橢圓運(yùn)動(dòng)1切中的2，3，4點(diǎn)對(duì)應(yīng)的彎曲臂1和彎曲臂撕控制信號(hào)如1所控制信號(hào)臂1臂2相位，為相位差為冗2的方波，波形2在中，串聯(lián)彎曲臂的自由端運(yùn)動(dòng)到點(diǎn)1時(shí)，臂1和臂2的外加電壓都為零，串聯(lián)臂不發(fā)生彎曲；自由端運(yùn)動(dòng)到點(diǎn)2時(shí)，行1的外加電壓為斗；發(fā)生彎曲。而臂2外加電壓分別為時(shí)，自由端運(yùn)動(dòng)到點(diǎn)3；電壓為時(shí)，自由端運(yùn)動(dòng)到點(diǎn)4所以對(duì)臂1和臂2分別加上相位差為72的偏置方波信號(hào)，將使臂1和臂2相精度和可靠性串聯(lián)臂壓電微電機(jī)的驅(qū)動(dòng)電路由單片機(jī)信號(hào)發(fā)生電路及功率開(kāi)關(guān)放大電路等部分組成，信號(hào)發(fā)生電路產(chǎn)生的信號(hào)，作為放大電路的控制信號(hào)，控制驅(qū)動(dòng)電源率的電源下面分，介紹驅(qū)動(dòng)電路的組成部分，3.1信號(hào)發(fā)生電路利用單片機(jī)的內(nèi)部定時(shí)器功能就可以產(chǎn)生方波信號(hào)，通過(guò)單片機(jī)的外部擴(kuò)展芯片及電路，可調(diào)節(jié)方波信號(hào)的頻率信號(hào)發(fā)生電路可由單片機(jī)及鍵盤顯接口芯片8279瓦1等構(gòu)成，產(chǎn)生頻率可調(diào)的方波倍號(hào)。新代551單片機(jī)的性能不斷改善，提高了主振頻率，在單片機(jī)輸出信號(hào)較高的情況下，也能獲得較高的精度。8279是專用的鍵盤，顯控制芯片。能對(duì)顯小器動(dòng)描使叫它討允分提高1工作效率。
　　減少方波信號(hào)的頻率誤差基于上述原理，設(shè)計(jì)了3的信號(hào)發(fā)生電路，1；1和鎖存器構(gòu)成1片機(jī)的，序存儲(chǔ)器擴(kuò)展電路，系統(tǒng)軟件固化在如河中。通過(guò)鍵盤按鈕可以發(fā)出調(diào)節(jié)信號(hào)頻率的命令，在8279的控制下，通過(guò)顯設(shè)備顯頻率值鍵盤發(fā)出的命令通過(guò)8279輸出，送入單片機(jī)，1接收到命令后，轉(zhuǎn)入相應(yīng)的處，程序，從而改變輸出信4的頻率，并將該信號(hào)輸從單片機(jī)輸出的路方波倍14.經(jīng)過(guò)次反向形成與原信號(hào)相位差為的方波信號(hào)4，兩路相位相反的方波信號(hào)分別經(jīng)過(guò)級(jí)上升沿觸發(fā)的發(fā)器進(jìn)行分頻，將兩發(fā)器輸出上接第5頁(yè)端產(chǎn)生的方波信號(hào)作為信號(hào)發(fā)生電路的輸出信號(hào)4中的郝1由于分頻前兩路信號(hào)的相位差為兀，所以分頻后兩路信號(hào)的相位差為23！
　　3.2放大電路為使驅(qū)動(dòng)電源有足夠的功率驅(qū)動(dòng)串聯(lián)彎曲臂壓電微電機(jī)，要采用放大電路進(jìn)行功率放大驅(qū)動(dòng)電路的放大部分采用常用的功率開(kāi)關(guān)放大電路，即應(yīng)用0，0變換電路，使用具有開(kāi)關(guān)速度高損耗小驅(qū)動(dòng)功率+驅(qū)動(dòng)屯路簡(jiǎn)單等優(yōu)點(diǎn)的功率場(chǎng)效應(yīng)矜16廠了管作開(kāi)關(guān)器件4，串聯(lián)臂壓電微電機(jī)所需的能量由直流電源提供在信號(hào)發(fā)生電路產(chǎn)生的兩路相位差為兀2的信號(hào)分別控制下，通過(guò)兩套功率開(kāi)關(guān)放大電路，可實(shí)現(xiàn)符合串聯(lián)臂壓電微電機(jī)驅(qū)動(dòng)功率要求4結(jié)論以壓電雙晶片構(gòu)成的串聯(lián)臂為驅(qū)動(dòng)元件驅(qū)動(dòng)電機(jī)轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)分析了串聯(lián)臂壓電微電機(jī)的控制方法，用相位差2的兩路偏置方波信號(hào)作為電機(jī)的驅(qū)動(dòng)信號(hào)，并說(shuō)明了驅(qū)動(dòng)電路的設(shè)計(jì)方案